Téléchargement de ressources - Documentation technique
PROFILOMÉTRIE DE SURFACE PAR MICROSCOPIE CONFOCALE LASER 3D
La microscopie confocale permet de reconstruire une image 3D d’un composant en mesurant l’intensité réfléchie par ce dernier au niveau du plan focal.
La présence d’un diaphragme au niveau du point objet permet de s’affranchir de la profondeur de champ de l’objectif et de ne sélectionner qu’un plan à chaque mesure.
L’obtention d’un profil d’intensité réfléchie pour des matériaux transparents permet de déterminer l’épaisseur de chaque couche grâce à l’identification des différentes interfaces.
FR
EN